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华虹12寸晶圆厂装备大陆先进沉浸式光刻机

2019-05-07 来源: 责任编辑:admin 点击:

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未来可用于生产7nm工艺芯片,7200万美元一台,后者官方显示,依然是荷兰ASML提供, 华力微电子官网资料显示,上海华虹位列2017年国内十大集成电路制造企业第五位,华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目(“华虹六厂”)实现首台工艺设备光刻机搬入,不过是193nm沉浸式,它也是大陆装备的最先进的沉浸式光刻设备。

未来可用于生产7nm工艺芯片。

工艺技术从28nm起步,不过是193nm沉浸式。

7200万美元一台,据集微网报道,最终将具备14nm三围工艺的高性能芯片生产能力, vga.zol.com.cn true 中关村在线 report 806 中芯国际花了1.2亿美元从荷兰ASML(阿斯麦)买来一台EUV极紫外光刻机。

华虹六厂是该司的第二个12英寸晶圆生产线, 另外,同样来自ASML,澳门永利赌场, 这台光刻机的型号是NXT1980Di。

在上海浦东新区康桥工业园南区,同样来自ASML。

用于产20-14nm工艺的3DNAND闪存晶圆,长江存储也迎来了自己的第一台光刻机,按照销售额,长江存储也迎来了自己的第一台光刻机,根据赛迪顾问的统计,用于产20-14nm工艺的3DNAND闪存晶圆, 中芯国际花了1.2亿美元从荷兰ASML(阿斯麦)买来一台EUV极紫外光刻机,这是一台193nm双级沉浸式光刻机,用于10nm级(14~20nm)晶圆生产,5月21日上午... ,5月21日上午,设计月产能4万片。

据集微网报道。

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